В Зеленограде разработали оборудование для техпроцесса 65 нм
Научно‑исследовательские институты Зеленограда НИИМЭ и НИИТМ завершили разработку и сборку первых в России кластерных систем для процессов плазмохимического осаждения (ПХО) и травления (ПХТ).
22.12.2025 Префектура ЗелАО
22.12.2025 Префектура ЗелАО